Termostato per camera bianca Semistat S 4400di processocompattosenza monitor
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Caratteristiche
- Settore
- di processo, per camera bianca
- Configurazione
- compatto
- Tipo di quadrante
- senza monitor
- Altre caratteristiche
- riscaldante, rinfrescante, a circolazione
- Range di temperatura
Min.: -20 °C
(-4 °F)Max.: 90 °C
(194 °F)
Descrizione
Descrizione del prodotto
Termostato di processo termolettrico point-of-use (POU) per il controllo preciso delle temperature di processo in applicazioni per semiconduttori e camere bianche. Riduce il consumo energetico fino al 90% rispetto ai sistemi a compressore. Ingombro compatto con possibilità di installazione sotto pavimento per minimizzare lo spazio in camera bianca. Controllo preciso della temperatura a ±0.1 °C per migliorare l'omogeneità wafer-to-wafer.
Caratteristiche
Campo di funzionamento
Dati tecnici (secondo DIN 12876)
Capacità di raffreddamento
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Download (documenti disponibili)
Scheda tecnica Semistat S 4400
Manuale operativo Semistat (Point of Use)
Brochure: Semistat / Circulation and process thermostats
Specifiche tecniche
Termostato di processo termolettrico point-of-use (POU) per il controllo preciso delle temperature di processo in applicazioni per semiconduttori e camere bianche. Riduce il consumo energetico fino al 90% rispetto ai sistemi a compressore. Ingombro compatto con possibilità di installazione sotto pavimento per minimizzare lo spazio in camera bianca. Controllo preciso della temperatura a ±0.1 °C per migliorare l'omogeneità wafer-to-wafer.
Caratteristiche
- Termostato di processo termolettrico a basso consumo energetico
- Funzionamento silenzioso e a bassa vibrazione grazie alla tecnologia di raffreddamento senza refrigerante
- Non richiede filtri o componenti DI
- Connessione per purge con aria pulita e secca (CDA) per evitare condensa
- Uso di fluidi perfluorurati
- Variante raffreddamento ad acqua disponibile
- Dimensioni complessive compatte e peso ridotto
- Volume di fluido termico estremamente basso
- Conforme a SEMI S2 e F47
Campo di funzionamento
- Temperatura di lavoro min.: -20 °C
- Temperatura di lavoro max.: 90 °C
- Stabilità della temperatura: 0.1 ± K
Dati tecnici (secondo DIN 12876)
- Intervallo di temperatura di lavoro: -20 ... 90 °C
- Stabilità della temperatura: 0.1 ± K
- Potenza riscaldamento (min.): 12 kW
- Volume di riempimento min.: 2.5 L
- Volume di riempimento max.: 2.8 L
- Dimensioni (LxPxA): 194 x 300 x 560 mm
- Peso: 38 kg
- Alimentazione: Connessione a PSC
- Tecnologia di raffreddamento: termolettrico / senza refrigerante (variante ad acqua disponibile)
- Conformità: SEMI S2 e F47
Capacità di raffreddamento
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Download (documenti disponibili)
Scheda tecnica Semistat S 4400
Manuale operativo Semistat (Point of Use)
Brochure: Semistat / Circulation and process thermostats
Specifiche tecniche
- Nome commerciale / modello: Semistat S 4400
- Part no.: L003278
- Intervallo di temperatura di lavoro: -20 ... 90 °C
- Stabilità della temperatura: 0.1 ± K
- Potenza riscaldamento (min.): 12 kW
- Volume di riempimento (min./max.): 2.5 L / 2.8 L
- Dimensioni (LxPxA): 194 x 300 x 560 mm
- Peso: 38 kg
- Tecnologia di raffreddamento: termolettrico / senza refrigerante (variante ad acqua)
- Conformità: SEMI S2 e F47
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Circulation and process thermostats
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.