Termostato per camera bianca Semistat S 1200

compattosenza monitorriscaldante

Panoramica
Termostato di processo termolettrico per punto d'uso progettato per il controllo preciso della temperatura nei processi dei semiconduttori e nelle camere bianche. Riduce i consumi energetici rispetto ai sistemi a compressore e può essere installato sotto pavimento al punto d'uso per minimizzare l'ingombro in camera bianca. Controlla i profili di temperatura del processo a ±0,1 °C per migliorare l'omogeneità wafer‑to‑wafer.

Caratteristiche

• Termostato di processo termolettrico a basso consumo energetico
• Funzionamento silenzioso e a basse vibrazioni grazie alla tecnologia di raffreddamento priva di refrigerante
• Non richiede filtri né componenti DI
• Connessione per purga con aria secca pulita (CDA) per prevenire la condensazione
• Utilizzo di fluidi perfluorurati
• Versione raffreddata ad acqua disponibile
• Dimensioni compatte e basso peso per installazione al punto d'uso
• Volume interno del fluido di trasferimento termico estremamente ridotto
• Conforme alle normative SEMI S2 e F47

Gamma di lavoro

• Temperatura minima di esercizio: −20 °C
• Temperatura massima di esercizio: 90 °C
• Stabilità della temperatura: ±0,1 K

Capacità di raffreddamento (esempi)
Temperatura — Capacità di raffreddamento 50 Hz — Capacità di raffreddamento 60 Hz
20 °C — 1,2 kW — 1,2 kW
10 °C — 0,9 kW — 0,9 kW
0 °C — 0,6 kW — 0,6 kW
−10 °C — 0,35 kW — 0,35 kW
−20 °C — 0,08 kW — 0,08 kW

Dati tecnici (secondo DIN 12876)

• Gamma di temperatura di lavoro: −20 ... 90 °C
• Stabilità della temperatura: ±0,1 K
• Potenza minima del riscaldatore: 3 kW
• Volume minimo di riempimento: 1 L
• Volume massimo di riempimento: 1,3 L
• Dimensioni (LxPxA): 116 x 232 x 470 mm
• Peso: 15 kg
• Alimentazione: collegamento a PSC