La risoluzione spaziale di 0,078 nm in STEM è ottenuta grazie all’elevata capacità di inclinazione del campione e a uno o più rivelatori EDX ad ampio angolo solido, il tutto in una configurazione con un unico obiettivo.
L’HF5000 si basa sulle caratteristiche dello STEM dedicato Hitachi HD-2700, tra cui il correttore di aberrazioni completamente automatizzato sviluppato da Hitachi, il doppio SDD EDX simmetrico e l’imaging SE con correzione Cs. Incorpora inoltre le tecnologie TEM/STEM avanzate sviluppate nella serie HF.
L’integrazione di queste tecnologie consolidate in una nuova piattaforma TEM/STEM da 200 kV dà vita a uno strumento che offre una combinazione ottimale di imaging e analisi sub-Å, oltre alla flessibilità e alle capacità uniche necessarie per affrontare gli studi più avanzati.
Caratteristiche
Correttore di aberrazione sferica a sonda completamente automatizzato di Hitachi
Cannone elettronico FE a freddo (Cold FEG) ad alta luminosità e alta stabilità
Colonna e alimentatori ultra-stabili per prestazioni dello strumento potenziate
Capacità di imaging SEM e STEM simultaneo con correzione Cs e risoluzione atomica
Nuovo tavolino portacampioni ad ingresso laterale ad alta stabilità e portacampioni
Doppi rivelatori EDX* da 100 mm² disposti simmetricamente opposti: “Symmetrical Dual SDD*”
Alloggiamento di nuova concezione per prestazioni ottimali in ambienti di laboratorio reali
Ampia gamma di portacampioni avanzati Hitachi*
FEG a freddo ad alta luminosità × Alta stabilità × Correttore di aberrazione automatizzato Hitachi
Il nuovo FEG a freddo ad alta stabilità utilizza una versione completamente riprogettata della consolidata tecnologia Hitachi relativa alla sorgente di elettroni a emissione di campo a freddo.
Anche la stabilità complessiva del sistema è stata ottimizzata per ottenere immagini con risoluzione inferiore all’Å. La colonna, gli alimentatori
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