Sistema di produzione PlasmaPro 800 PECVD

Il PlasmaPro 800 offre una soluzione flessibile per i processi di deposizione chimica in fase di vapore con plasma (PECVD) su lotti di wafer di grandi dimensioni e su wafer da 300 mm, in un sistema compatto e a carico aperto. L'ampia piastra per wafer consente la lavorazione di lotti su scala di produzione e la gestione di wafer da 300 mm. Processi ad alte prestazioni Eccellente controllo della temperatura del substrato Controllo preciso del processo Processi collaudati per l'analisi dei guasti di wafer singoli da 300 mm Panoramica Il PlasmaPro 800, con un tavolo di 460 mm di diametro, offre una capacità completa di 300 mm o di grandi lotti di 43 x 50 mm (2"), consentendo soluzioni di produzione complete e affermando il PlasmaPro 800 come prodotto leader di mercato ben collaudato. Caratteristiche Il PlasmaPro 800 offre la massima flessibilità di processo per applicazioni di semiconduttori composti, optoelettronica e fotonica: Elettrodo di grandi dimensioni - Basso costo di gestione Rilevamento del punto finale di mordenzatura - Affidabilità e manutenibilità Rilevamento del punto finale mediante interferometria laser e/o spettroscopia di emissione ottica - Può essere montato per migliorare il controllo dell'incisione Opzioni di pod gas a 4, 8 o 12 linee - Offre flessibilità nei processi e nei gas di processo e può essere collocato in remoto nell'area di servizio, lontano dall'utensile di processo principale Pompa turbo ad accoppiamento stretto - Alta velocità di pompaggio ed eccellente pressione di base Registrazione dei dati - Tracciabilità e storia delle condizioni della camera e del processo Elettrodi raffreddati a fluido e/o riscaldati elettricamente - Eccellente controllo e stabilità della temperatura dell'elettrodo Applicazioni Analisi dei guasti con de-processing a secco utilizzando i nostri strumenti di analisi dei guasti appositamente configurati, con RIE e dual-mode Processi RIE/PE che vanno dall'incisione di chip e die confezionati fino all'incisione di wafer da 300 mm