I misuratori di spessore a infrarossi misurano lo spessore di fogli traslucidi come i separatori di batterie, i rivestimenti poco riflettenti come il black resist e il silicio. Il sistema di assorbimento a infrarossi è costituito da una sonda a specchio compatta con un sistema ottico trasmissivo, che consente di misurare simultaneamente più parametri come lo spessore del film, la densità e la composizione a più di 100 lunghezze d'onda.
1 Misura lo spessore di lastre traslucide, pellicole a bassa riflessione, silicio, ecc
2 Sonda compatta
Grazie all'adozione di una piccola sonda riflettente da 30 mm, può essere installata in uno spazio ridotto nelle apparecchiature o nelle linee di produzione. Inoltre, poiché la sonda è collegata al corpo principale solo con un cavo in fibra ottica, ha un'eccellente resistenza ambientale.
Misura ad alta velocità
Campionamento simultaneo delle lunghezze d'onda del vicino infrarosso da 950 nm a 1650 nm in 100 punti o più
4 Riproducibilità della misura dello spessore 0,1% o meno (3σ)
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