Tester di spessore SK-iFTM

per diagnostica per immaginiper applicazioni mediche

Il monitor dello spessore del film per immagini è uno strumento metrologico in grado di visualizzare la distribuzione dello spessore del film di un film multistrato trasparente. Può visualizzare la distribuzione dello spessore del film con una risoluzione di 0,1 nm utilizzando la riflettometria spettroscopica. Visualizzazione dell'uniformità dello spessore del film Misura lo spessore/qualità del film nel campo visivo del microscopio, mostra la distribuzione 3D Risoluzione dello spessore del film: <0,1nm Buona risoluzione dello spessore equivalente agli strumenti di spettrometria. La lunghezza d'onda può essere selezionata da 450nm a 750nm con una precisione di 1nm. Alta velocità / Misura multistrato fino a 9 strati Elaborazione parallela tramite la riflettometria spettroscopica Applicazioni avanzate ① Pellicola ripetuta a più centinaia, come i filtri di interferenza passabanda, e pellicola multistrato composita, come la struttura a trincea ② Stima della densità del pattern al di sotto del micron utilizzando l'approssimazione del mezzo effettivo (EMA) ③ Valutazione della cristallinità dell'area locale come la ricottura laser Misura della distribuzione dello spessore del film nella regione specifica del campo visivo dell'obiettivo. Misurare l'area di 6,6x8,8 mm□ utilizzando l'obiettivo 1x. Misura della risoluzione spaziale di 0,5um utilizzando l'obiettivo 50x.