Tester di spessore SK-FTM

da laboratorioautomaticocompatto

Il monitor compatto dello spessore del film è un misuratore di spessore del film spettrofotometrico a riflessione che utilizza una piccola sonda a riflessione ed è applicabile in tutte le situazioni, dal livello di laboratorio all'ispezione in linea al 100% nel processo di produzione. Ha un'eccellente manutenibilità e può essere utilizzato per essere incorporato nelle apparecchiature di processo e nella gestione delle linee. È possibile misurare contemporaneamente fino a 9 tipi di film trasparenti. Può essere utilizzato come monitor in linea o end-point per i vari processi di film multistrato. La sonda compatta può essere installata in uno spazio ridotto all'interno dello strumento di processo. È inoltre possibile valutare il rapporto di miscela dello strato misto o la cristallinità del polisilicio utilizzando la teoria EMA. Sonda compatta con fibra ottica può essere installata in uno spazio ridotto all'interno dell'utensile di processo. Buona ripetibilità della misura dello spessore del film 0,1 nm(3a) Misura dello spessore del film multistrato fino a 9 strati Funzione di analisi del materiale - Valutazione del rapporto di miscelazione del materiale composito mediante EMA - Cristallinità e analisi delle costanti ottiche Senza fili (opzione) Il software per il rilevamento del punto finale dello spessore del film è incluso Fase di mappatura automatica (opzione) Requisiti di sistema consigliati Temperatura ambiente: da 18 a 45 ℃ Lungo termine - : < ±2,0℃/24Ore Breve termine - : < ±1,0℃/1ora Umidità - : 45±20% (in assenza di condensa)