Microscopio SEM SU8600

FE-SEMda laboratorio3D

L'SU8600 inaugura una nuova era di microscopi elettronici a scansione a emissione di campo freddo ad altissima risoluzione, che si aggiunge alla lunga serie di EM Hitachi. Questa rivoluzionaria piattaforma CFE-SEM incorpora imaging multiforme, automazione, maggiore stabilità del sistema, flussi di lavoro efficienti per utenti di tutti i livelli di esperienza e altro ancora. Altissima risoluzione La sorgente a emissione di campo freddo ad alta luminosità di Hitachi fornisce immagini ad altissima risoluzione anche a tensioni ultrabasse. Un sistema di rilevamento intelligente per l'imaging di BSE a bassa tensione Immagine in sezione trasversale di una NAND 3D; Lo strato di ossido e lo strato di nitruro del condensatore sono facilmente distinguibili nell'immagine grazie alla capacità di rilevamento BSE. Imaging BSE veloce: nuovo tipo di cristallo fuori colonna BSED (OCD) Utilizzando il nuovo sistema BSED a cristalli fuori colonna (OCD)*, il tempo di acquisizione dell'immagine è stato inferiore a UN SECONDO, ma l'interconnessione dello strato inferiore e la struttura Fin FET della SRAM sono chiaramente visibili. Esperienza utente migliorata con l'automazione avanzata L'opzione software "EM Flow Creator" consente agli utenti di configurare sequenze di operazioni SEM ripetibili. Le varie funzioni del SEM possono essere assemblate nella finestra di EM Flow Creator con un metodo drag-and-drop e poi salvate come ricetta per un uso successivo. Una volta configurata una ricetta, la raccolta automatica dei dati nelle condizioni impostate può essere eseguita con elevata precisione e ripetibilità. Interfaccia flessibile La configurazione a doppio monitor supporta un'area di lavoro flessibile e altamente efficiente. Visualizzazione e salvataggio simultaneo di 6 segnali per acquisire più informazioni in meno tempo.