I sistemi al plasma Nano possono essere combinati in diverse varianti come in un sistema modulare. Di seguito è riportata una panoramica delle opzioni più consuete relative ai sistemi al plasma Nano: I sistemi al plasma Yocto IIIvengono utilizzati principalmente per le seguenti applicazioni:
Analytica, archeologia, automotive, reparti di ricerca e sviluppo, tecnologia dei semiconduttori, produzione in piccole serie, tecnologia delle materie plastiche, tecnologia medicale, tecnologia dei microsistemi, tecnologia dei sensori, sterilizzazione, tecnologia tessile
Configurazione di base
Le dimensioni dell'alloggiamento variano a seconda dei componenti / delle opzioni
Volume della camera: 18 - 36 litri, a seconda della versione
Alimentazione elettrica: 230 V per apparecchi da tavolo, 400 V / 3 fasi per apparecchi da pavimento
Alimentazione di gas
Valvole a spillo
Mass-Flow-Controller (MFC)
Camera da vuoto
Acciaio inox, cilindrica con coperchio (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm o L 600 mm) oppure
Acciaio inox, rettangolare, porta a battente (ca. B 240 mm x A 240 mm x P 420 mm o 600 mm)
Alluminio, rettangolare, porta a battente (ca. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm o L 600 mm)
Vetro di quarzo (UHP), cilindrica con coperchio o porta a battente (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
Vetro borosilicato (UHP), cilindrica con coperchio o porta a battente (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)