L’impianto al plasma Yocto III viene utilizzato principalmente per le seguenti applicazioni: attivazione, pulizia
Configurazione di base
Alimentazione elettrica: 230 V
Alimentazione di gas
Gas del processo filtrato
Flusso a mezzo valvola (non regolabile)
Ventilazione con filtro
Camere da vuoto
Vetro borosilicato (UHP) cilindrico con coperchio (ca. ∅ 50 mm, L 150 mm)
Elettrodi
Una coppia di elettrodi posizionati all'esterno della camera da vuoto
Sistemi di controllo
Generatore per la produzione del plasma
Interruttore bifase
Pulsante di avvio
Interruttore di rete
Generatori
Frequenze: 100 kHz: Potenza 0 - 30 W
Pompa per vuoto
Integrata nell'alloggiamento
Senza olio
Potenza di aspirazione: 0,75 m3/h