Ellissometro spettroscopico Smart SE

Lo Smart SE di HORIBA Scientific è un ellissometro spettroscopico versatile per misure rapide e accurate di film sottili. Caratterizza lo spessore del film sottile da pochi angstrom a 20µm, le costanti ottiche (n,k) e le proprietà della struttura del film sottile (come la rugosità, gli strati ottici graduati e anisotropi, ecc). L'intervallo spettrale da 450 a 1000 nm viene misurato in pochi secondi e i dati ellissometrici vengono analizzati con la piattaforma software DeltaPsi2. Il software integra due livelli di software per soddisfare sia l'analisi di routine con ricette predefinite sia l'analisi avanzata con una modellazione ellissometrica all'avanguardia. L'ellissometro Smart SE è uno strumento per la ricerca e sviluppo di film sottili che non scende a compromessi in termini di funzionalità e che offre prestazioni di qualità per la ricerca a un prezzo economico. Offre un sistema di visione integrato per un posizionamento accurato degli spot, sette micro spot automatizzati con dimensioni che vanno fino a poche decine di micron per la misurazione di piccole caratteristiche e la capacità di misurare l'intera matrice Mueller a 16 elementi in pochi secondi per lo studio di campioni complessi. Il design flessibile dello Smart SE consente la completa automazione dello stadio di campionamento e del goniometro, nonché l'uso in situ nelle camere di processo. È adatto a qualsiasi applicazione o budget per un'ampia varietà di aree applicative, tra cui microelettronica, fotovoltaico, display, rivestimenti ottici, trattamenti superficiali e composti organici. CARATTERISTICHE Veloce e preciso Facilmente aggiornabile Visualizzazione del campione spot Configurazioni standard Gamma di spettri: - 450nm a 1000nm Risoluzione degli spettri: migliore di 3nm Sorgente luminosa - Alogena combinata e LED blu Tempo di misurazione - Da <1sec a 10 sec