L'Auto SE è un nuovo strumento di misura per film sottili che consente l'analisi completamente automatica di campioni di film sottili con un semplice pulsante.
L'analisi del campione richiede solo pochi secondi e fornisce un rapporto completo che descrive in modo esauriente la pila di film sottili, compresi gli spessori dei film, le costanti ottiche, la rugosità superficiale e le disomogeneità del film.
L'Auto SE è uno strumento altamente funzionale che comprende uno stadio XYZ automatico, l'acquisizione di immagini in tempo reale del sito di misura e la selezione automatica delle dimensioni dello spot. Sono disponibili numerosi accessori per soddisfare un'ampia gamma di applicazioni.
L'Auto SE include indicatori diagnostici integrati per il rilevamento e la diagnosi automatica dei problemi, con una guida completa per l'operatore per la risoluzione dei problemi.
L'Auto SE si distingue per la sua facilità d'uso e per le numerose funzioni automatiche che lo rendono uno strumento "chiavi in mano" ideale per la misurazione di routine di film sottili e per il controllo di qualità dei dispositivi.
CARATTERISTICHE
Analisi dei film sottili semplificata grazie alle routine automatiche
Sistema altamente funzionale
Visione del campione
Microspot fino a 25x60 µm
Ampia scelta di accessori
APPLICAZIONI
Gamma spettrale: 440-1000 nm
Dimensioni degli spot: selezione automatica 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm;
100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
Rilevamento: CCD - Risoluzione: 2nm
stadio campione: mandrini a vuoto, altezza z 40 mm
Visualizzazione del campione: Telecamera CCD - Campo visivo: 1.33x1 mm - Risoluzione: 10µm
Goniometro: Fisso a 70° - Possibile impostazione a 66° e 61,5°
Numerosi accessori
Tempo di misurazione: <2s, tipico 5s
Precisione: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002
Ripetibilità: NIST 15nm ± 0,2 Å
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