Sensore di temperatura AWM40000

di portatadi gasper il settore medico

Compensato o non compensato. ±25,0 SCCM, 1,0 SLPM, 6,0 SLPM. Uscita analogica. Funzionamento Il sensore di flusso d'aria massico a microponte funziona in base alla teoria del trasferimento di calore. Il flusso d'aria di massa è diretto attraverso la superficie degli elementi di rilevamento. La tensione di uscita varia in proporzione al flusso massico di aria o di altri gas attraverso le porte di ingresso e di uscita del pacchetto. L'alloggiamento appositamente progettato dirige e controlla con precisione il flusso d'aria attraverso l'elemento di rilevamento della microstruttura. Il design meccanico del pacchetto consente di montarlo facilmente su circuiti stampati. Il sensore di flusso d'aria massico a microponte ha un chip di silicio unico, basato su una tecnologia di microstruttura avanzata. È costituito da una struttura a ponte a film sottile, isolata termicamente, contenente elementi di riscaldamento e di rilevamento della temperatura. La struttura a ponte fornisce una risposta sensibile e rapida al flusso d'aria o di altri gas sul chip. I doppi elementi di rilevamento, posizionati su entrambi i lati di un elemento riscaldante centrale, indicano la direzione e la portata del flusso. Le resistenze a film spesso e a film sottile rifilate al laser garantiscono un'intercambiabilità costante da un dispositivo all'altro. Il sensore di portata massica a microponte utilizza resistenze sensibili alla temperatura depositate all'interno di un film sottile di nitruro di silicio. Sono sospesi a forma di due ponti su una cavità incisa nel silicio. Il chip è posizionato in un canale del flusso d'aria dimensionato con precisione per fornire una risposta ripetibile al flusso. L'isolamento termico altamente efficace per il riscaldatore e le resistenze di rilevamento è ottenuto incidendo lo spazio della cavità sotto i ponti del sensore di flusso.