Camera climatica

termostaticadi temperaturadi umidità

Applicazione
Fa circolare aria pulita e controlla l'umidità per eliminare le variazioni ambientali dovute al luogo d'installazione, destinato a impianti che richiedono stabilità dimensionale, precisione di posizione e misure di precisione. Disponibili soluzioni personalizzate per adattarsi ai dispositivi interni e alle esigenze del cliente.

Punti chiave

• Pulizia: ISO classe 4 (classe 10).
• Precisione del controllo temperatura: da ±0,1 °C a ±0,005 °C.
• Progettazione adattabile per integrare dispositivi interni.
• Più circuiti di protezione per la sicurezza.
• Genera un ambiente ad alta pulizia e alta precisione di temperatura/umidità per prevenire adesione di particelle/gas e dilatazioni/contrazioni causate da variazioni termiche e igrometriche.
• Controllo umidità: standard 40–60 %RH; opzione bassa umidità 5–40 %RH.
• Controllo PID, componenti ultra‑precisi e sistema di flusso d'aria tarato sulla precisione di temperatura; escursioni possibili da 0,1 °C a 0,002 °C a seconda della configurazione.

Norme e specifiche
Tipo C (enclosure)
• Ideale per strumenti di misura di lunghezza e steppers.
• Composto da unità di condizionamento con controllo umidità, ventilatore e filtri HEPA, e da una camera di lavoro.
• Opzioni per la camera: sportelli automatici (elettrici o pneumatici), finestra di controllo per interventi sugli apparati interni, porta per manutenzione.
• Disponibile in flusso laminare verticale (HEPA in plafoniera) e flusso laminare orizzontale (HEPA laterale).

Tipo B (aperto)
• Per aligner di proiezione.
• Apparato open‑type con unità di condizionamento a controllo di temperatura integrata sul retro di una panca pulita a flusso laminare verticale.
• Ingombro ridotto e mobilità facilitata grazie alle ruote opzionali.

Tipo S (separato)
• Adatto per apparecchiature di scrittura a fascio di elettroni e piccoli dispositivi con portata d'aria di processo ≤50 m/min.
• Sistema a condotti che separa l'unità di condizionamento dalla camera per isolare rumore, vibrazioni e interferenze elettromagnetiche.
• Accesso agli apparati interni da fronte, lati e retro.
• Disponibile anche in versione a ricircolo con collegamento a condotto tra aspirazione e area di lavoro.

Principali applicazioni
Produzione di semiconduttori: steppers (esposizione per riduzione), aligner, dispositivi di scrittura a fascio di elettroni
Produzione di pannelli display: LCD, schermi al plasma, FED
Lavorazioni di precisione: lucidatrici per specchi, macchine laser, fresatrici per testine magnetiche, lucidatrici per lenti di precisione, spin coater per CD‑R/DVD‑R
Strumenti di misura di precisione: strumenti di misura della lunghezza di precisione, macchine di misura 2D/3D
Biologia: microscopi di precisione, manipolazione di campioni sensibili a variazioni di temperatura/umidità

Elementi tecnici

• Pulizia: ISO classe 4 (classe 10)
• Precisione di temperatura: ±0,1 °C a ±0,005 °C (configurabile fino a 0,1 °C–0,002 °C)
• Controllo umidità: standard 40–60 %RH; opzione bassa umidità 5–40 %RH
• Metodo di controllo: PID
• Condizionamento: meccanismo di controllo umidità, ventilatore, filtri HEPA (flusso laminare verticale/orizzontale)
• Tipologie di configurazione: C (enclosure), B (open), S (separated)
• Sicurezza: circuiti di protezione multipli
• Opzioni di personalizzazione: finestra di osservazione, sportello automatico, porta di manutenzione, mobilità su ruote