Ampia superficie circolare in alluminio fresato-piatto con uniformità della temperatura migliore dell'1% su tutta la superficie riscaldante. Progettato specificamente per lavorare con wafer di silicio di diametro pari o inferiore a 12 pollici (304,8 mm) e altri campioni in cui l'accuratezza della temperatura e l'uniformità della superficie sono un must.
Descrizione
La piastra da forno programmabile Torrey Pines Scientific WaferPlate™ è una piastra riscaldante digitale completamente programmabile progettata specificamente per la cottura di wafer di silicio. Nel funzionamento manuale è sufficiente impostare una temperatura target e l'unità raggiungerà e manterrà quella temperatura esatta entro ± 1 °C. Nella modalità programmabile le routine possono essere memorizzate per essere richiamate e utilizzate istantaneamente. La routine memorizzata verrà eseguita automaticamente ed esattamente allo stesso modo, ancora e ancora.
I programmi possono essere semplici o complessi a seconda delle necessità. È possibile memorizzare temperature multiple, velocità di rampa di temperatura se lo si desidera e tempi di permanenza. Questi programmi possono essere scritti e memorizzati nel telecomando fornito con l'unità, oppure i programmi possono essere semplici o complessi secondo necessità quando scritti dall'utente su un PC ed eseguiti da quel PC tramite la porta RS-232 I/O su la parte posteriore del riscaldatore.