Nella produzione di semiconduttori, anche la più piccola traccia di contaminazione può compromettere la qualità del prodotto. Con l'avanzare della miniaturizzazione dei semiconduttori, la riduzione al minimo della contaminazione organica in tracce è diventata sempre più critica per mantenere un elevato tasso di resa dei prodotti. Di conseguenza, gli standard di qualità per l'acqua ultrapura utilizzata nella produzione di semiconduttori stanno diventando sempre più severi. Soprattutto nel processo di produzione di semiconduttori all'avanguardia, è aumentata la necessità di rilevare l'urea e altri composti difficili da ossidare. Il rilevamento di questi composti è stato difficile con le tecniche convenzionali. L'analizzatore TOC on-line TOC TOC-1000e S per acqua ultrapura, che incorpora il feedback dei produttori di semiconduttori all'avanguardia, è stato sviluppato per affrontare queste sfide.
Shimadzu è stato un fornitore affidabile di analizzatori TOC per oltre 50 anni, stabilendo un'eredità come leader negli strumenti TOC. Ora, sfruttando questi decenni di esperienza e tecniche avanzate, Shimadzu offre l'analizzatore TOC on-line TOC-1000e S per acqua ultrapura, specificamente progettato per soddisfare i rigorosi requisiti del moderno processo di produzione dei semiconduttori.
Caratteristiche
Sensibilità di rilevamento superiore per i composti difficili da ossidare
Elevata capacità di ossidazione con rilevamento accurato di urea e altri composti difficilmente ossidabili
Nella produzione di semiconduttori, grandi volumi di acqua ultrapura vengono prodotti da varie fonti idriche. Durante questo processo di purificazione, le impurità devono essere rimosse il più possibile. L'urea è particolarmente difficile da eliminare a causa delle sue caratteristiche di difficile ossidazione.
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