I processi produttivi avanzati della microelettronica richiedono sostanze chimiche filtrate con un taglio particellare finale non superiore ai 20 nm. Il Chem 20 della PMS è uno dei più sensibili contatori particellari disponibili sul mercato che soddisfa questi requisiti e quindi adatto al controllo particellare delle sostanze chimiche impiegate in questi processi produttivi
II dati raccolti nel monitoraggio dei processi produttivi e del packaging dimostrano che il Chem 20 della PMS (sensibilità 20 nm) rileva una maggiore concentrazione di particelle con trend statistici più significativi rispetto agli strumenti della concorrenza. Il Chem 20 può monitorare con facilità, velocità ed efficienza la componente particellare chimica del processo prima che vada ad impattare sulla produzione.
Dettagli del prodotto
Ora con capacità di Campionamento con Siringa
Ottica avanzata e detector capace di rilevare particelle nelle sostanze chimiche di 20 nm
Flussimetro integrato per settare il flusso del campione analitico
Primo contatore particellare ottimizzato per sostanze chimiche ad alto e basso indice di rifrazione:
Sensore Chem 20 per sostanze chimiche a basso indice di rifrazione
Sensore Chem 20 per sostanze ad alto indice di rifrazione tarato con acido solforico ed altre sostanze simili
Sensore integrato per rilevare sversamenti interni
Sensore di rilevamento del flusso per assicurare dati statisticamente validi e ripetibili
Sensore per il rilevamento di bolle nel campione per garantire misurazioni stabili
Display per visualizzare I dati rilevati
Rileva in tempo reale particelle di 20 nm (PSL) & particelle di 9 nm (AU)