Ottieni dati da qualsiasi punto del tuo ambiente ultra pulito con questo contatore di particelle a condensazione da 10 nm. Aumenta il tempo di attività e migliora la resa.
Ticked bullet point Monitoraggio all’interno dei macchinari per la produzione dei semiconduttori con l’ingombro più ridotto sul mercato
Ticked bullet point Monitoraggio ininterrotto e senza manutenzione per 12 mesi con misurazioni continue 24 ore su 24, 7 giorni su 7
Ticked bullet point Il miglior tasso di conteggio falso tra tutti i CPC progettati per il monitoraggio di ambienti ultra puliti
Riduci la contaminazione e migliora la resa dove conta di più con il nostro rivoluzionario contatore di particelle a condensazione (CPC) NanoAir™ 10.
Monitoraggio con collettore disponibile
Questo è l’unico sistema con collettore progettato per supportare il trasporto e la consegna di nanoparticelle.
Un prodotto complementare a 10 porte (ParticleSeeker™) supporta applicazioni che richiedono il monitoraggio di più posizioni di campionamento in sequenze sequenziali o programmate.
Il collettore a 10 porte consente di coprire un intero EFEM/Minienvironment con un unico CPC. Raggiungi una copertura di 11 metri quadrati con il collettore.
Il tempo da porta a porta è di soli 0,1 secondi, con una diafonia ridotta al minimo. Il collettore supporta varie modalità di funzionamento per:
qualificazione degli strumenti
tracciamento/monitoraggio dei processi
risposta automatizzata agli eventi integrati della produzione
tracciamento dei wafer all’interno degli strumenti di processo