Il Contaparticelle per aria a Condensazione (CPC) NanoAir™ è un nuovo prodotto rivoluzionario di Particle Measuring Systems (PMS). Offre la sensibilità di un CPC con la facilità d’uso e la funzionalità di un tradizionale contatore di particelle per camere bianche. Progettato per monitorare ambienti ultra-puliti, offre una sensibilità di rilevamento di 10 nm a una portata di campione di 2,8 L/min (0,1 CFM).
Le dimensioni di NanoAir sono più piccole dell’83% rispetto ai prodotti della concorrenza, il che ne rende pratico l’utilizzo ovunque in ambienti ultra-puliti, anche all’interno di impianti di processo per semiconduttori e moduli front-end di apparecchiature (EFEM). L’innovativo design del sistema di gestione dei fluidi di lavoro, in attesa di brevetto, è robusto ed efficiente e consente un funzionamento continuo 24 ore su 24, 7 giorni su 7, 365 giorni, senza bisogno di manutenzione o di interventi da parte dell’utente. In questo modo, si riducono le interruzioni del campionamento e della raccolta dati e i tempi di inattività degli strumenti.
Un accessorio con collettore a 10 porte (ParticleSeeker™) supporta le applicazioni che richiedono il monitoraggio di più punti di campionamento in sequenza o in modo programmato.
Inoltre, il NanoAir è compatibile con il gas ad alta pressione grazie all’HPD-III di PMS e i dati possono essere visualizzati, analizzati e riportati utilizzando il software di monitoraggio Facility Net di PMS o trasmessi direttamente a sistemi SCADA di terzi o a strumenti di processo.
Dettagli del prodotto
La Conta Zero è <1,5 conteggi/m3 senza l’uso di schemi di sottrazione del conteggio zero
Efficienza di conteggio a: 10 nm = 50% ± 20%,