Array tridimensionale di microelettrodi:
Elettrodi TiN, isolatore SiN, piastre di contatto e piste opache (TiN), con elettrodo di riferimento interno, griglia elettrodi 8x8, 60 elettrodi, interasse elettrodi 100 µm, diametro elettrodo 12 µm, altezza totale elettrodo 40 µm, garanzia: 6 mesi
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