Il vaporizzatore Turbo II™ 2852PE di MSP è progettato per applicazioni microelettroniche di alta precisione che richiedono portate di vapore medio-basse. Basato sui vaporizzatori Turbo™ di MSP, collaudati sul campo, altamente affidabili e a bassa manutenzione, il nuovo 2852PE fornisce concentrazioni di vapore stabili mantenendo un ingombro molto ridotto. Il 2852PE è inoltre dotato di una valvola di controllo del flusso integrata per una risposta estremamente rapida alla portata.
Dettagli del prodotto
Dimensioni (HxLxP) - 198 mm x 84 mm x 114 mm (7,8'' x 3,3'' x 4,5'')
Peso - 2,5 kg (5,6 lb)
Raccordi (sull'unità)
Ingresso gas vettore - 1/4 in. Dado femmina VCR
Ingresso liquido - 1/8 in. VCR femmina
Uscita del vapore - 1/4 in. Dado sdoppiato femmina VCR
Aria compressa - Raccordo per tubo istantaneo da 4 mm
Parti bagnate - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Nickel
Integrità delle perdite - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Elio
Requisiti di alimentazione del riscaldatore1 - 208 VCA, 60 Hz, 450 W
Gas di trasporto - Si consiglia l'uso di gas inerte
Flusso massimo del gas vettore1 - 2,0 litri standard/min N2 a 50 psig
Flusso massimo di liquido2 - 7 g/min (TEOS o equivalente)
Limite di pressione del sistema - 150 psig
Aria compressa - da 90 a 110 psig
Intervallo di temperatura3 - da 40°C a 180°C
Sensore di temperatura - 2 termocoppie di tipo Ƙ
Accessori - Cavo di alimentazione incluso (3 m). AMP CPC, connettore a 4 pin con 3 conduttori volanti all'estremità opposta
Le specifiche sono soggette a modifiche senza preavviso.
1 Il flusso massimo del serbatoio, la potenza del riscaldatore (W) e la tensione di linea sono regolabili in fabbrica; visitare il sito www.tsi.com/contact per richiedere ulteriori informazioni.
2 Il flusso massimo di liquido dipende dal processo. Le specifiche presuppongono una temperatura del vaporizzatore di 180°C, un flusso massimo di gas di trasporto e una pressione <50 Torr immediatamente a valle del vaporizzatore.
3 È necessario uno sfiato appropriato.
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