Microscopio FIB-SEM JIB-4700F

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I progressi nello sviluppo di nuovi materiali caratterizzati da nanostrutture complesse impongono agli strumenti FIB-SEM una maggiore richiesta di risoluzione, precisione e produttività eccezionali. In risposta, JEOL ha sviluppato il sistema multiraggio JIB-4700F da utilizzare per le osservazioni morfologiche e le analisi elementari e cristallografiche di una varietà di campioni. Caratteristiche Il JIB-4700F è dotato di un obiettivo conico ibrido, di una modalità GENTLEBEAM™ (GB) e di un sistema di rivelazione all'interno dell'obiettivo per offrire una risoluzione garantita di 1,6 nm a una bassa tensione di accelerazione di 1 kV. Utilizzando un "cannone elettronico a emissione Schottky in-lens" che produce un fascio di elettroni con una corrente di sonda massima di 300nA, questo strumento di nuova concezione consente osservazioni ad alta risoluzione e analisi veloci. Per la colonna FIB, viene utilizzato un fascio di ioni Ga ad alta densità di corrente, con una corrente di sonda massima di 90nA, per una rapida fresatura ionica e la lavorazione dei campioni. Contemporaneamente alla lavorazione ad alta velocità delle sezioni trasversali tramite FIB, è possibile effettuare osservazioni SEM ad alta risoluzione e analisi rapide utilizzando la spettroscopia a raggi X a dispersione di energia (EDS) e la diffrazione a retrodiffusione di elettroni (EBSD). Inoltre, una funzione di analisi tridimensionale che acquisisce automaticamente immagini SEM a determinati intervalli durante l'elaborazione della sezione trasversale è una delle caratteristiche standard del JIB-4700F. Osservazione SEM ad alta risoluzione La risoluzione garantita di 1,6 nm a una bassa tensione di accelerazione di 1 kV è fornita da un obiettivo conico ibrido magnetico/elettrostatico, dalla modalità GB e dal rilevatore interno all'obiettivo. Analisi veloce L'analisi rapida è possibile perché l'alta risoluzione può essere mantenuta anche in analisi con correnti di sonda elevate grazie alla combinazione di