Lo stesso portacampioni può ora essere utilizzato sia per il microscopio ottico che per il microscopio elettronico a scansione. Di conseguenza, gestendo le informazioni sullo stage con un software dedicato, il sistema è in grado di registrare le posizioni osservate con il microscopio ottico e di ingrandire ulteriormente le stesse aree con il microscopio elettronico a scansione per osservare le strutture fini con un ingrandimento maggiore e una risoluzione superiore. È ora possibile confrontare e verificare senza problemi le immagini del microscopio ottico e quelle del microscopio elettronico a scansione.
Caratteristiche
Acquisizione dei dati e osservazione intuitiva con l'uso del colore
Aggiungendo le informazioni sul colore della luce visibile dall'immagine del microscopio ottico (che non possono essere ottenute con l'immagine SEM) si ottiene un'immagine SEM con un effetto visivo più intuitivo.
La ricerca agevole del bersaglio sfrutta le caratteristiche del microscopio ottico
L'osservazione con il microscopio ottico permette di trovare facilmente le strutture target, che sono difficili da distinguere con le immagini SEM.
Previene il danneggiamento del campione da parte del fascio di elettroni
Per evitare danni o contaminazioni da parte del fascio di elettroni, l'individuazione dell'area di interesse viene eseguita prima con il microscopio ottico. Ciò consente di osservare il SEM con una dose minima di radiazioni al sito di osservazione.
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