I sistemi di ispezione dei wafer di semiconduttori, che non possono tollerare nemmeno una piccolissima contaminazione o difetto, hanno anche diverse misure per i sistemi ottici.
Poiché il nostro motore lineare è stato realizzato per diffondere la luce solo in punti specifici e la struttura dell'otturatore per il filtro di apertura impedisce la luce ambientale, i nostri motori lineari vengono applicati a questa applicazione.
Poiché il nostro motore lineare dal design compatto consente di installare più assi in uno spazio ridotto, è possibile mettere a fuoco dimensioni e figure di vario tipo. Inoltre, grazie alla possibilità di movimento ad alta velocità mediante azionamento diretto, è adatto alla linea di produzione di semiconduttori che richiede un'elevata produttività.
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