Scansione dell'intero wafer - Piattaforma ad alta produttività
Acquisizione di immagini dell'intero wafer
Risoluzione dell'immagine: 20.000 x 20.000 pixel (~1,6GB), 10um/pixel
Formato immagine: TIFF
Immagine dell'intero wafer
Analisi
Autoallineamento e autocircolazione
Risoluzione: 2, 5, 10, 40 μm
Lunghezza d'onda di eccitazione laser: 532 nm e 635 nm
Potenza laser
532 nm: 13+/-10% mW
635 nm: 13+/-10% mW
Fluorofori compatibili: Cy3 e Cy5
Dimensioni del wafer: wafer di Si/Vetro da 4"~12
Area di scansione: intero wafer
Capacità del caricatore: 1 wafer
Tipo di rilevamento: Messa a fuoco dinamica con confocale in tempo reale e 2 PMT
Velocità di scansione: 21 minuti @10 μm (wafer da 8")
Sensibilità: <0,2 fluoro/μm²
Gamma dinamica: 10⁴
Risoluzione digitale: 16 bit
Formato file: TIFF
Software operativo (controllo BioScan e BioImage Analyzer)
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