I filtri a capsula CSE sono gruppi di capsule compatte. Sono ideali per la filtrazione di un'ampia gamma di slurry e di acqua DI nei sistemi di slurry CMP, nonché per la filtrazione di prodotti chimici in piccoli volumi.
Caratteristiche e vantaggi
costruzione compatta e robusta
resistenza alle alte pressioni
basso volume di accumulo
design senza o-ring
design monouso, facile da sostituire
Qualità
capsule prodotte in ambiente controllato
prodotto secondo il sistema di gestione della qualità certificato ISO9001
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