Le cartucce filtranti ad altissimo rendimento della serie L13E Ф131 sono progettate specificamente per le applicazioni di lavorazione a umido nella produzione di TFT-LCD, come la pulizia del substrato, l'incisione, lo stripping e il lavaggio con acqua DI. I filtri sono disponibili in vari materiali e in un'ampia gamma di gradi di rimozione, grazie alla loro struttura unica e all'elevata area di filtrazione, che consente di ridurre i costi di sostituzione e di funzionamento. Hanno un'eccellente compatibilità con i vari liquidi di processo, in grado di raggiungere i 200 litri al minuto richiesti per il processo G6-10.
Caratteristiche e vantaggi
disponibili in vari materiali e gradi di rimozione
elevata area di filtrazione e lunga durata di servizio
elevate portate e basse perdite di carico
riduzione dei costi operativi di filtrazione
Qualità
cartucce prodotte in un ambiente controllato
prodotto secondo il sistema di gestione della qualità certificato ISO9001
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